形势背景

      材料特性及其局部分布的认知对于金属材料或分层系统的开发和优化非常重要。多参数微磁测试方法BEMI的应用提供了表征材料特性或具有高空间分辨率的多层系统分析的能力。

BEMI (巴克豪森噪音和涡流显微镜)的组件

■ 基于3MA技术的检测主机（3MA：微磁多参数微结构和应力分析）：一种功能强大的测试设备，用于材料和分层系统的微磁特性表征；
■ 具有高空间分辨率的特殊探头：具有约20μm空间分辨率的电磁特性；
■ 扫描机：在预定的X和Y位置步进扫描样品表面；
■ 计算机：控制扫描仪，数据采集，结果可视化和评估；

特殊技术与原理

      基于3MA技术的检测主体设备，结合了四种微磁方法：切向磁场强度的谐波分析，巴克豪森噪声信号分析，增量磁导率分析，多频涡流阻抗分析。
      这些方法在数个测试频率上的综合应用，提供了四十多种微磁特性，这些特性与材料结构和分层系统的特性相关。多参数方法中微磁特性的组合使得能够分离交叉重叠的影响，例如应力和涂镀层厚度。这些微磁特性分布的图像提供了有关材料均匀性的主要信息。此外，多个样品特性的比较允许对材料或分层的特性，进行差异定性评估。

归根结底，在使用具有明确特征的样品进行一次校准之后，BEMI可以定量确定材料和分层的性能，并将其分布显示为图像，而且可以同时确定几个目标值。

应用领域

?对包含至少一种金属成分的所有材料或分层系统进行具有高空间分辨率的材料表征和优化。
?检查微观结构或分层的均匀性。
?应力分布成像。
?确定任何基材上的金属和/或铁磁的顶层厚度。
?确定铁磁基材上非铁磁顶层的厚度。
?多层的表征。

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