表面粗糙度儀標準的提出和發展與工業生產技術的發展密切相關，它經歷了由定性評定到定量評定兩個階段。發展表面粗糙度儀對機器零件表面性能的影響從1918年開始受到注意，在飛機和飛機發動機設計中，由于要發展求用最少材料達到最大的強度，人們開始對加工表面的刀痕和刮痕對疲勞強度的影響加以研究。但由于測發展量困難，當時沒有定量數值上的評定要求，只是根據目測感覺來確定。在20世紀20～30年代，世界上很多發展工業國家廣泛采用三角符號的組合來表示不同精度的加工表面。

　　為研究表面粗糙度儀對零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，德國、美國發展和英國等國的一些專家設計制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，同時也產生出了光切式顯微鏡和干涉顯微鏡等用發展光學方法來測量表面微觀不平度的儀器，給從數值上定量評定表面粗糙度儀創造了條件。從30年代起，已對表發展面粗糙度定量評定參數進行了研究，如美國的Abbott就提出了用距表面輪廓峰頂的深度和支承長度率曲線來發展表征表面粗糙度儀。1936年出版了Schmaltz論述表面粗糙度儀的專著，對表面粗糙度儀的評定參數和數值的標準化發展提出了建議。但粗糙度評定參數及其數值的使用，真正成為一個被廣泛接受的標準還是從40年代各國相應的發展國家標準發布以后開始的。

　　首先是美國在1940年發布了ASA發展B46.1國家標準，之后又經過幾次修訂，成為現行標準ANSI/ASME發展B46.發展1-1988《表面結構表面粗糙度儀、表面波紋度和加工紋理》，該標準采用中線制，并將Ra作為主參數；接著前蘇發展聯在1945年發布了GOCT2789-1945《表面光潔度、表面微觀幾何形狀、分級和表示法》國家標準，而后經過了3發展次修訂成為GOCT2789-1973《表面粗糙度儀參數和特征》，該標準也采用中線制，并規定了包括輪廓均方根偏差發展即現在的Rq)在內的6個評定參數及其相應的參數值。另外，其它工業發達國家的標準大多是在50年代制定的，發展如聯邦德國在1952年2月發布了DIN4760和DIN4762有關表面粗糙度儀的評定參數和術語等方面的標準等。